"Гореща обработка" Лазерен лъч с по-висока енергийна плътност (който е концентриран енергиен поток) се облъчва върху повърхността на обработвания материал. Повърхността на материала абсорбира лазерната енергия и генерира процес на топлинно възбуждане в осветената зона, така че температурата на повърхността на материала (или Покритие) се повишава, което води до метаморфизъм, топене, аблация, изпаряване и други явления.
"Студената обработка" (ултравиолетови) фотони с висока натоварваща енергия може да разруши химичните връзки в материалите (особено органичните материали) или в заобикалящата среда, което води до разрушаване на нетермичните процеси. Тази студена обработка е от особено значение при обработката с лазерно маркиране, тъй като не е термична аблация, а студен пилинг, който разрушава химичните връзки без страничен ефект от "топлинна повреда", така че не засяга вътрешния слой и близките области на обработваната повърхност Генерира нагряване или термична деформация. Например, в електрониката, ексимерните лазери се използват за отлагане на тънък филм от химическо вещество върху материал от субстрата, за да се създадат тесни канали в полупроводникова подложка.
