Според характеристиките на субстрата, точността на повърхността на субстрата, грапавостта на повърхността и видовете прахови замърсители, настоящите методи за лазерно почистване могат да бъдат разделени на следните две категории.
1) Метод на лазерно химическо чистене. Лазерът директно облъчва повърхността на обекта, замърсява частиците или абсорбира енергията на повърхността, след което прави частиците да напуснат повърхността чрез термична дифузия, разлагане на снимки и газификация.
2) Метод на мокро почистване на лазера. Спрей някои незамърсята течност (главно вода, понякога алкохол) на повърхността на материала, който трябва да се почисти, и след това го облъчете с лазер. След абсорбиране на лазерната енергия, течната среда ще произвежда експлозивна изпарение и ще изтласква замърсяващите частици около нея далеч от повърхността на материала. В допълнение, така нареченият метод на лазерно съединение за почистване е предложен. Лазерната енергия се абсорбира от субстрата, а след това адсорбираната среда се нагрява чрез термична конвекция, а средата на средата произвежда експлозивна изпарение. С висок въздушен поток, частиците са отделени от повърхността на субстрата заедно с средата.
