В оборудването за вакуумно покритие вътрешните компоненти на кухината в покритието работят за определен период от време, натрупаният филмов слой на повърхността ще става все по-дебел и по-дебел, напрежението на самия филмов слой става по-голямо и в същото време има е проблем на адхезията между филмовите слоеве, отложени по различно време, което ще доведе до лесно падане на повърхностния слой на компонента, в процеса на нанасяне на покритие ще се получи много замърсяване върху повърхността на пробата, като по този начин ще се отрази значително на добива на покритието . Следователно вътрешните компоненти на кухината трябва да се почистват редовно. Почистването на оборудването за нанасяне на покритие има много положителен ефект върху ефективността и качеството на машината за вакуумно покритие и може значително да подобри стабилността на всички стени и други повърхности на компонентите във вакуумната система при различни работни условия.
Вътрешните компоненти на оборудването за нанасяне на покритие, които трябва да се почистват, включват вътрешната стена на камерата, решетката на източника на йони, въртящата се опора и нагревателната жица.
Традиционен метод за почистване и недостатъци
1. Пясъкоструенелечение. Тъй като оксидният диелектричен филм е високотемпературно отлагане на пари във вакуумен електронен лъч, твърдостта на слоя филм е висока, често използваният метод за полиране с шкурка е не само отнемащ време и трудоемък, но и почистващият ефект не е добър. Ако се използва само обработка с пясъкоструене, тъй като твърдостта на повърхността на алуминиевата сплав не е висока, пясъчните зърна ще бъдат вградени в повърхността на пробата по време на процеса на пясъкоструене и не могат да бъдат отстранени чисто и тези зърна ще паднат по време на процеса на нанасяне на покритие поради високата -скорост на въртене на компонентите, което ще повлияе на степента на провлачване на покритието.
2. Електрохимично почистване и електрополиране и ултразвукови методи за почистване. Не само необходимостта от разглобяване на частите на машината за нанасяне на покритие отнема много време и енергия, но процесът на разглобяване също има неизбежно замърсяване и изисква консумацията на определени почистващи материали, особено при почистване на големи предмети, и неговото неудобство.
3. Ръчно ръчно лазерно почистване. Чрез ръчната лазерна почистваща глава до всеки ъгъл на ръчно почистване на машината за нанасяне на покритие, но използването на този метод на почистване за дълго време не само ще позволи на оператора да вдиша лазерното почистване от замърсителите и да почисти големи предмети, ръчният фокус може не са стабилни, което влияе върху почистващия ефект и ефективност и интензивността на труда.
Следователно разработването на разумен метод за почистване, особено за вътрешната повърхност на тялото на машината с несменяемо покритие, почистване на повърхността на функционални структурни части, как да се намали интензивността на труда, почистването е по-удобно и да се подобри качеството и ефективността на почистването, е кратко ежедневна поддръжка на машината за нанасяне на покритие.
Общ преглед на лазерно почистващо оборудване за покритие
Машината за почистване на оборудване за оптоелектронно покритие с дължина на вълната е специално разработена за почистване вътре в машината за покритие, използвайки лазер за почистване на вътрешността на машината за покритие и нейните компоненти. Системата включва почистваща глава за покритие, системна скоба, стойка за робот, колаборативен робот, основа на робот, камера за 3D визуализация, импулсен влакнест лазер, контролна кутия, операционен хост, охладител за вода, конзола за влакна, устройство за източник на въздух и електрическа балансираща кола, подходяща за многоъгълно и цялостно почистване вътре в машината за нанасяне на покритие, без разглобяване на машината за нанасяне на покритие, ефективно преодоляване на съществуващите методи за ниска ефективност, замърсяване, неподходящи за почистване с голям обем и други проблеми. Той ефективно преодолява проблемите с ниската ефективност и замърсяването и е неподходящ за почистване на големи обеми.
Предимства на лазерната почистваща машина за оборудване за нанасяне на покрития
1. Специално проектирана лазерна почистваща глава в машината за нанасяне на покритие, интегрирана газова защита и почистване и изсмукване на прах и механизъм с фиксиран фокус. Намалете поддръжката на лещите, за да осигурите стабилно почистване.
2. Изчерпателна конфигурация на оборудването, проектиране на специална електрическа система за управление, координиран контролен робот, автоматично проследяване на лазерен обхват, нормална работа на лазерна почистваща глава, конфигурация на съответното откриване и управление на индукция, за да се гарантира безопасната работа на системата. Задайте съответния път за почистване за различни зони за почистване и създайте съответната операционна файлова библиотека. Осъществете дистанционно управление на автоматичното почистване.
3. Лазерното измерване на разстоянието автоматично проследява работното разстояние на почистващия лазер, за да гарантира постоянството на почистващия ефект и да подобри качеството на почистване.
4. Конфигурирайте филтри за адсорбция и отстраняване на прах, за да осигурите защита на околната среда срещу емисии. Проектирайте заграждение, за да изолирате средата с летящ прах, за да подобрите допълнително защитата на околната среда и безопасността.
5. Конфигурирайте водния охладител, за да осигурите стабилно и дълго работно време на лазера.
6. Конфигуриран с камера за наблюдение след мен, за да наблюдава и проверява качеството на почистване и да прави съответните екранни снимки за запазване за проследимост на качеството на почистване.
7. Цялостен лек дизайн, компактна структура, оборудвана с електрическа балансираща кола, лесно и гъвкаво движение.
„Интелигентното почистване“ помага за изграждането на интелигентна фабрика
Оборудване за нанасяне на покрития, машини за лазерно почистванеса безконтактни, нямат консумативи, нямат допълнително замърсяване, висока точност на управление, нямат повреди или малки повреди и т.н., автоматични почистващи операции, са ефективни и стабилни. Дизайнът на почистващата глава реализира предимствата на леката, интегрирана структура за защита от продухване, засмукване на прах, отстраняване и т.н. Колаборативният робот 6-axis се използва за реализиране на продължителна автоматична почистваща операция, като се избягва нестабилността на ръчното ръчно почистване вътре в голямата машина за нанасяне на покритие, докато работният диапазон на робота може да се контролира, за да се гарантира безопасността на персонала. В допълнение, използването на 3D визуални роботи за автоматично проследяване на фокуса на работа на почистващата система може да бъде направлявано и контролирано за автоматично избягване на сблъсък, докато специфичната първоначална настройка на позицията между опората на системата и машината за нанасяне на покритие може да бъде направлявана и наблюдавана до работен процес в реално време, подобрявайки ефективността и точността на автоматизацията на почистващата машина. Помага за изграждането на интелигентен цех за нанасяне на покрития и подобряване на качеството и ефективността.









