Лазерът е един от най големите изобретения на естествените науки на ХХ век. През 1960 г. първият лазер е произведен в света. Впоследствие лазери с добра съгласуваност, малки враг ъгли и концентрация на високо енергия са били широко използвани в различни области, като лазерни вариращи, лазерни обработка и лазерна комуникация. В началото на 1980, хората започнаха да използват високоенергийни лазерни лъчи за осветяване на повърхността на детайла, причинявайки на повърхността на мръсотия, ръжда или покритие да мигновено се изпари или кора и ефективно да премахнете прикачения файл или покритието върху повърхността на обект с висока скорост. Процесът на почистване на повърхността на материала е лазерно почистване. От последните десет години, лазерно почистване е преместен от лабораторията за практически приложения, използвани в различни каучук продукт форми, силиконови продукти форми за премахване на масла, ръжда, културни реликви, микроелектронни платки и други материали за почистване, and постига много добри икономически и социални ползи.
В средата-1980, за да отговори на нуждите на промишленото производство за премахване на малки частици на памет шаблони лазерно почистване е получила широко внимание и изследвания и официално е призната като ефективен метод на почистване, който изследователите са Опитах се да се използва. Конвенционалните методи при почистване механично почистване, Почистване, химически и ултразвуково почистване да премахнете submicron частици, прикрепен към шаблона са по-малко от идеални. Тъй като адсорбцията сила на частиците на шаблона (ван дер Waals сила, електростатични сили и т.н.) е доста невероятно, като например частици от 1 μm размер, сила си адсорбция върху повърхността на шаблона е около 106 пъти тази на тежестта му и механични Почистване на метод не може да бъде завършена. Премахване на малки частици, химически почистване може да доведе до корозия и повторното заразяване на шаблона. Ултразвуково почистване изисква шаблона трябва да бъде поставен в центъра на sonic вибрация, която ще предизвика шаблона да се развалят. Лазерно почистване се произвежда при такива обстоятелства. В този случай, хората започнаха да го изучават систематично: появата му е решила проблема на замърсяване на повърхността на шаблона, и с развитието на лазерна технология за почистване, той също е бил широко използван в много други сфери.
В края на 1980 учените открили, че покриващи повърхността на субстрата с течен спомагателни слой е по-благоприятна за премахването на замърсяващи частици. Сред тях водата е такъв ефективен спомагателни слой. Методът за покриване на повърхността на статията да се почистват с течен филм с дебелина от порядъка на милиметри и след това облъчване с лазер за отстраняване на замърсените частици е това, което по-късно наричаме пара (мокър) лазерно почистване, в сравнение с сух тип. Лазерно почистване, пара почистване е по-ефикасно почистване. Тя не беше до началото на 1990, че наистина лазерно почистване въвели промишлено производство. В действителност почти през 1987 г., три изследователски групи независимо открива ефектите на лазерно почистване. Сред тях изследователския екип водени от Zapka получено на първия патент за лазерно почистване и признати перспективите му приложение в промишлеността. Друга изследователска група е института Макс Планк за биохимия и физика в Toku учени Силиконовата шаблонът е била покрита със златни частици, които имат размер от 35 nm а след това азот молекулно лазерно директно е облъчени върху твърда повърхност, and като резултат златни частици на повърхността на успешно бяха махнати, докато шаблонът на силиций не е бил повреден, което показва, че лазерът е била използвана за почистване на твърда повърхност. Замърсените частици са осъществими.
През 2001 г. Fourrier и неговите сътрудници изпълнява пара лазерно почистване експерименти върху частици с различни форми, размери и материали, за да намерите лазерните интензитет, необходими за различни частици от порядъка на десетки до стотици нанометра. Прагът е същото. Този "широко последователно праг" предвижда по-благоприятни подкрепа за промишлена употреба на пара лазерно почистване за премахване на под-микрона частици. Въпреки че развитието на лазерно почистване се основава на почистване на малки твърди частици на повърхността, изследвания на други приложения е била извършена съответно. Например през 1970 г., след изследвания и експерименти, беше установено че лазери са почистване исторически сгради и произведения на изкуството. Има приложимост. През 1992 г. ЮНЕСКО успешно използва лазерно почистване за ремонт на Ясмин катедрала в Англия. Някои страни в Европа също имат лазерна почистват катедралата на Амиен (Франция), катедралата Свети Стефан (Виена, Австрия), гроба на Незнайния воин (Варшава, Полша). Приложението на лазера в източване също привлича вниманието на изследователите. Woodroffe et al. в Съединените щати са направили много работа в тази област.
През 1990 изследователи в Германия и Япония развива висока мощност чай-CO2 лазери за лазерни боя източване и ги използва за да направи серия от експерименти. Тя не беше до 2005 г., че изследователите са публикувани статии за източване на въздухоплавателните средства, използващи мощни енергоблокове чай-CO2 лазери. Учени от различни страни също са направени много проучвателни изследвания за прилагането на гумата плесени, повърхностна обработка, боклук пространство и други аспекти и постига забележителни резултати.
